☆耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽,气体流量不因温度、压力的变化而变化。
☆主体采用不锈钢(304或316L)结构,气密材料采用VITON、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。
☆可任意位置安装。电气操作控制显示,使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。
用于对气体质量流量进行精密测量和控制,具有精度高,稳定性好,可靠性高,安装简单,操作方便。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。